一、產品說明

【品牌】：91视频官网；

【設備型號】：免費提供1對1專業（yè）定製；

【廢氣行業（yè）】：各行業；

【廢氣類型】：VOCs廢氣、酸堿（jiǎn）廢氣、脫（tuō）硫脫硝、除（chú）臭、粉塵等；

【處理風量】：2000-500000m3/h；

【排放標準】：100%符合地方排放標（biāo）準；

 

二、電子半導體廢氣處理簡介

在製程工藝中，會產生大量的酸堿及VOCs有機汙染物等（děng）有毒有害氣體。如果直接排放就會對大氣和人的身體健康造成較為嚴重的危害。

電子半導體廢氣成分：包括酸堿（jiǎn）廢氣和有機廢氣兩類。

酸/堿廢氣包括：氨氣、硫酸霧、氟化（huà）物、氯化物、氯氣等。有機廢氣包括：非（fēi）甲烷總（zǒng）烴（tīng）、氮氧化物、二氧化硫等；

廢氣（qì）來源：主要來源於芯片生產的（de）清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過程中。

廢氣特點：具有排氣量大、濃度小的特（tè）點。

主要危害：對大氣的汙染，主要是器件清洗等表麵處理過程中因使用一些化學藥劑（如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有（yǒu）機（jī）鹵化物）揮（huī）發造成對大氣環境的汙染，以及整機裝配過程中產生的機械（xiè）噪聲和少量（liàng）粉塵也會造成環境汙染，這些（xiē）汙染氣體會造成人群慢性或急性中毒。

（一）酸堿性廢氣處理工藝

按（àn）照其廢氣處理工藝分為：

• 酸性廢氣處理（SEX）；
• 堿性廢氣處理(AEX)；
• 有機廢（fèi）氣處理(VEX)和一般排氣(GEX)等

 

• 工作原理（lǐ）：

（1）立式廢氣洗滌（dí）塔工作原理為氣（qì）液（yè）兩相逆流接觸；含酸性或堿性廢氣由塔下部進口進入（rù）塔內向上運動，通過單層或多層填料（liào），廢（尾）氣與液相充（chōng）分接觸後吸收或中（zhōng）和，幹淨的氣體經過（guò）上層的（de）除霧層排出，從而（ér）達到吸收（shōu）和淨化效果；

（2）臥式廢氣洗滌塔的工作原理為氣液兩（liǎng）相交叉流接觸，酸堿廢（尾（wěi））氣通過填（tián）料層段時（shí）與液相充分接觸後吸收或中和（hé），從而（ér）達到（dào）吸收或淨化的效果（guǒ）。

• 主要設備：

（1）洗滌塔設備樣式（shì）：洗滌塔的結構型式分（fèn）為立式和臥式。

（2）洗滌塔設備（bèi）組成：包括塔（tǎ）體、填料層、除（chú）霧層、循環水管路及循環水（shuǐ）箱等。

（3）洗滌塔設備材料：廢氣（qì）處理設備以FRP為主要材料（liào）生產，填料采用PP材質的麥（mài）勒環。

• 工（gōng）藝流程：

酸/堿性廢氣收集→酸/堿式洗滌塔→離心風機→煙囪（達標排放）

酸堿廢氣經過收集管道集中（zhōng）收集後按（àn）照各自（zì）的（de）係（xì）統進入相應的化學洗滌塔（tǎ）進行噴淋處理，化學洗滌（dí）塔通過內（nèi）部的噴淋係統、循環水係統、填料過濾（lǜ）係統、除霧係（xì）統、自動加藥係統、自動補排（pái）水等係統對進入化學洗滌塔的廢（fèi）氣進行（háng）化學吸收、除霧，經過處理後的（de）廢氣達標排放。

 

（二）VOCs有機廢氣處理工藝

• 工作原理：

有機混合廢（fèi）氣經引風機作（zuò）用，s先經過預（yù）處理過濾裝置去除廢氣中的粉（fěn）塵（chén）及雜質部分，經過初步過濾後“相對純淨的有機（jī）廢氣”進入（rù）沸石（shí）轉輪吸附裝置進行吸附淨化

處理，有機物質被轉輪沸石特（tè）有的作用（yòng）力截留在內，潔淨氣體排出。經過一段時間吸附後，沸石轉輪（lún）達到飽和狀態，轉輪自動轉動進（jìn）入冷卻（què）和高溫脫附區域；經過沸石轉（zhuǎn）輪脫附出來的高濃度廢氣進（jìn）入TO直燃式焚燒爐，進行焚燒（shāo）淨化處（chù）理。廢氣焚燒後（hòu）的（de）爐膛燃燒室高溫（wēn）氣體與內部熱交換器進行熱交換預熱進（jìn）來的脫附廢氣，使脫附廢氣（qì）換熱後溫度控製在300-350℃左右，進入（rù）燃燒室燃燒，經（jīng）內部換熱器降溫後，進入尾部二級煙氣餘熱利用裝置，升溫後的潔淨氣體進入轉輪脫附區用於（yú）脫附，此時脫附出來的廢氣屬於濃度高、風量小、溫度高的有機廢氣，再（zài）進入二級煙（yān）氣餘熱利用裝置用於廢氣溫度二次提高，進入TO焚燒爐焚燒處理。

• 主（zhǔ）要設備：

（1）沸石轉輪；

（2）TO直（zhí）燃式熱氧化（huà）焚燒爐；

• 工藝流程：

VOCs有機廢氣（qì）收集（jí）→沸石（shí）轉輪吸附（fù）濃（nóng）縮/加（jiā）熱脫附→TO焚燒爐焚燒→煙囪（達標排放（fàng））。

廢氣經引風機的作用，經過預處理（lǐ）過（guò）濾裝置去（qù）除（chú）廢氣中的粉塵及雜質部分，初步過濾後“相對純淨的有機廢氣”進（jìn）入沸石（shí）轉輪吸附裝置進行吸附淨化處理，有機物質被轉輪沸石特有的作用（yòng）力截留在其內部（bù），潔（jié）淨氣體（tǐ）排出，經過一段時間吸附後，沸石轉輪達到（dào）飽和狀態，轉輪（lún）按照每小時1-3轉的速度自（zì）動轉動進入冷卻和高溫脫附區域。經過（guò）沸石轉輪脫附出來（lái）的高濃（nóng）度廢氣，直接進入TO直燃式焚燒爐進行焚燒淨化（huà）處理，廢氣焚（fén）燒後的爐膛燃（rán）燒室高溫氣體與內部熱交換（huàn）器進行熱交換預熱進來的脫附廢氣，使脫附廢氣換熱後溫度控製在300-350℃左右，進入燃燒室燃燒，經內部換熱器降溫後，進入尾部二級（jí）煙氣餘熱利用（yòng）裝置，一級（jí）餘熱利用裝置用於脫附，升（shēng）溫後的潔淨氣體進入轉輪脫附區用於脫附，沸石中的有機物受（shòu）到熱空氣加熱後從沸石（shí）中揮（huī）發出來，此時脫附出來的廢氣屬於濃度高、風量（liàng）小、溫度高的有機廢氣（qì）再（zài）進入二級煙氣餘熱（rè）利用（yòng）裝置，用於將（jiāng）廢氣溫度二次提高，進（jìn）入TO焚燒爐焚燒處理，再次降低TO焚（fén）燒爐（lú）焚燒的運行成本（běn），做到真正的（de）節能、環保。整套係統安全、可靠、無任何二次汙染，廢氣淨化率達到96%以上。

 

1.高濃度廢氣處理實現自供熱燃燒，運行費用低，性價比合理；

2.淨化效率高，三室型RTO可達99.5%；

3.采用陶瓷（cí）蓄（xù）熱體（tǐ）作為熱能回收（shōu），預熱、蓄熱交替運行，熱效率≥95%；

4.爐體鋼結構牢靠，保溫層厚實，運行安全可靠，穩定性高；

5.PLC可編程自動化控製（zhì），自動化程度高；

6.適用性廣，可淨化任何有機廢氣；

7.餘熱利（lì）用，經濟效（xiào）益高（gāo），多餘的熱能回用至烘房、烤箱等，烘房的加熱不用額外消耗燃料或電能。

【適用行業】︰

適用於電線、電纜、噴漆線、電機、化工、儀表、自行車、家電、汽車、發動機、塑料、電器、石油、化工、印染等行（háng）業的有機廢氣處理